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集成電路工藝原理章節(jié)練習(xí)(2019.05.03)
填空題
制作電阻分壓器共需要三次光刻,分別是()、()和()。
答案:
電阻薄膜層光刻;高層絕緣層光刻;互連金屬層光刻
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問答題
簡述溝道效應(yīng)的含義及其對離子注入可能造成的影響如何避免?
答案:
對晶體進(jìn)行離子注入時,當(dāng)離子注入的方向與與晶體的某個晶向平行時,一些離子將沿溝道運(yùn)動,受到的核阻止作用很小,而且溝道中的...
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填空題
單晶硅生長常用()和()兩種生長方式,生長后的單晶硅被稱為()。
答案:
CZ法;區(qū)熔法;硅錠
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判斷題
阻擋層金屬是淀積金屬或金屬塞,其作用是增加上下層材料的附著。
答案:
錯誤
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判斷題
對正性光刻來說,剩余不可溶解的光刻膠是掩膜版圖案的準(zhǔn)確復(fù)制。
答案:
正確
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判斷題
LPCVD反應(yīng)是受氣體質(zhì)量傳輸速度限制的。
答案:
正確
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判斷題
與干法刻蝕相比,濕法腐蝕的好處在于對下層材料具有高的選擇比,對器件不會帶來等離子體損傷,并且設(shè)備簡單。
答案:
正確
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名詞解釋
射程R
答案:
離子從進(jìn)入靶到停止為止走過的總距離。
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判斷題
傳統(tǒng)互連金屬線的材料是鋁,即將取代它的金屬材料是銅。
答案:
錯誤
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問答題
簡述CSP的封裝技術(shù)?
答案:
所謂CSP,即芯片尺寸封裝。CSP是在BGA基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,是接近LSI芯片尺寸的封裝產(chǎn)品。這種產(chǎn)品具有以下幾個特點(diǎn):...
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