填空題

制作電阻分壓器共需要三次光刻,分別是()、()和()。

答案: 電阻薄膜層光刻;高層絕緣層光刻;互連金屬層光刻
題目列表

你可能感興趣的試題

問答題

【簡答題】解釋質(zhì)量輸運(yùn)限制CVD工藝和反應(yīng)速度限制CVD工藝的區(qū)別,哪種工藝依賴于溫度,LPCVD和APCVD各屬于哪種類型?

答案: 質(zhì)量傳輸限制淀積速率:淀積速率受反應(yīng)物傳輸速度限制,即不能提供足夠的反應(yīng)物到襯底表面,速率對溫度不敏感(如高壓CVD.。...
問答題

【簡答題】離子注入后為什么要退火,高溫退火和快速熱處理哪個(gè)更優(yōu)越,為什么?

答案: 離子注入會(huì)將原子撞擊出晶格結(jié)構(gòu)而損傷硅片晶格。如果注入的劑量很大,被注入層將變成非晶。另外,被注入離子基本不占據(jù)硅的晶格...
微信掃碼免費(fèi)搜題