微電子學章節(jié)練習(2019.12.11)
來源：考試資料網(wǎng)
參考答案：根據(jù)電路的拓撲結(jié)構(gòu)和元件參數(shù)將電路問題轉(zhuǎn)換成適當?shù)臄?shù)學方程并求解，根據(jù)計算結(jié)果檢驗電路設(shè)計的正確性。
版圖設(shè)計... 參考答案：優(yōu)點：
A.比硅更高的電子遷移率，高頻微波信號響應(yīng)好——無線和高速數(shù)字通信
... 參考答案：①表面準備：清潔和干燥晶圓表面
②涂光刻膠：在晶圓表面均勻涂抹一薄層光刻膠
③軟烘培：加熱，部分蒸發(fā)... 參考答案：1氣相成底膜：第一步是清洗、脫水和硅片表面成底膜處理。
2旋轉(zhuǎn)涂膠：完成底膜后，硅片要立即采用旋轉(zhuǎn)涂膜的方法涂... 參考答案：SC-1去除有機殘余物，金屬
SC-2去除堿金屬離子，氫氧根。
根據(jù)不同的應(yīng)... 參考答案：離子注入機主要由離子源、分析磁體、加速聚焦器、掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、靶室及終端臺和真空系統(tǒng)6大部分組成。
1）離子源的... 參考答案：被電子占有的幾率為1/2的能級；禁帶中央；電子和空穴數(shù)相等；電子數(shù)多于空穴數(shù)；N；空穴數(shù)多于電子數(shù)；P
