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問答題
【簡答題】簡述離子注入機的各部分工作原理？
答案：
離子注入機主要由離子源、分析磁體、加速聚焦器、掃描偏轉系統(tǒng)、靶室及終端臺和真空系統(tǒng)6大部分組成。
1）離子源的...
1）離子源的...
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