問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述Spacer的主要功能？

答案：

①使高濃度的源/漏極與柵極間產(chǎn)生一段LDD區(qū)域；
②作為Contact Etch時(shí)柵極的保護(hù)層。
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答案： 在線(xiàn)寛小于0.5um以下時(shí), 因?yàn)樵?漏極間的高濃度所產(chǎn)生的高電場(chǎng),導(dǎo)致載流子在移動(dòng)時(shí)被加速產(chǎn)生熱載子效應(yīng), 此熱載子效...
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