問答題

【簡答題】何謂Hot carrier effect (熱載流子效應)?

答案： 在線寛小于0.5um以下時, 因為源/漏極間的高濃度所產(chǎn)生的高電場,導致載流子在移動時被加速產(chǎn)生熱載子效應, 此熱載子效...
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問答題

【簡答題】LDD是什幺的縮寫? 用途為何?
答案： Lightly Doped Drain. LDD是使用較低濃度的源/漏極, 以防...
問答題

【簡答題】源/漏極(source/drain)的形成步驟可分為那些?
答案： ①LDD的離子注入（Implant）；
②Spacer的形成；
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