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問答題
【簡答題】為何熱氧化時要控制鈉離子含量？降低鈉離子污染的措施有哪些？
答案：
因為氧化層中如含有高濃度的鈉，則線性和拋物型氧化速率常數(shù)明顯變大。措施有：加強工藝衛(wèi)生方可以避免Na+沾污；也可采用摻氯...
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問答題
【簡答題】影響熱氧化層電性的電荷來源有哪些類型？降低這些電荷濃度的措施？
答案：
（1）可動離子電荷（Qm）：加強工藝衛(wèi)生方可以避免Na+沾污；也可采用摻氯氧化，固定Na+離子；高純試劑
（2...
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