問答題

【簡(jiǎn)答題】切片可決定晶片的哪四個(gè)參數(shù)？

答案：

切片決定了硅片的四個(gè)重要參數(shù)：晶向、厚度、斜度、翹度和平行度。
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問答題

【簡(jiǎn)答題】將硅單晶棒制成硅片的過程包括哪些工藝？
答案：

包括：切斷、滾磨、定晶向、切片、倒角、研磨、腐蝕、拋光、清洗、檢驗(yàn)。
問答題

【簡(jiǎn)答題】小尺寸MOS器件中的二級(jí)效應(yīng)包括哪些？
答案：

小尺寸MOS器件中的二級(jí)效應(yīng)包括：短溝道效應(yīng)；窄溝道效應(yīng)；飽和區(qū)溝道長(zhǎng)度調(diào)制效應(yīng)；遷移率退化和速度飽和；熱電子效應(yīng)。
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