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【簡(jiǎn)答題】常用的CVD哪幾種?說(shuō)明各自的優(yōu)缺點(diǎn)以及應(yīng)用領(lǐng)域。
答案:
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答案:
(1)引晶,可以使熔融硅與籽晶間溫度平衡;
(2)縮頸,是為了消除籽晶原有的缺陷或引晶時(shí)由于溫度變化引起的新生...
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