問答題

【簡答題】雙極型集成電路的工藝流程具體有哪些?

答案: 1、襯底制備;
2、生長埋層(埋層氧化、光刻、摻雜);
3、外延生長;
4、生長隔離區(qū)(隔...
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【簡答題】簡述直拉法生長單晶硅的工藝過程,并說明每個步驟各自有什么作用?

答案: (1)引晶,可以使熔融硅與籽晶間溫度平衡;
(2)縮頸,是為了消除籽晶原有的缺陷或引晶時由于溫度變化引起的新生...
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【簡答題】單晶硅與多晶硅的區(qū)別?

答案:

多晶硅是由多個單晶單元隨機(jī)堆積形成的,多晶硅沒有單晶所特有的特征,如各向異性、短程有序等。

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