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駐波效應(yīng)
答案:
光線照射到光刻膠與晶圓的界面上會產(chǎn)生部分反射。反射光與入射光會疊加形成駐波,形成駐波效應(yīng)。駐波效應(yīng)影響光刻分辨率。后烘烤...
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玻璃回流
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是升高溫度的情況下給摻雜氧化硅加熱,使它發(fā)生流動。
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填充薄膜
答案:
是指用金屬薄膜填充通孔,以便在兩金屬層之間形成電連接。
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