問答題

【簡(jiǎn)答題】與普通濺射法相比,磁控濺射的特點(diǎn)是什么?

答案:普通濺射法有兩個(gè)缺點(diǎn):一是濺射方法淀積薄膜的速率低;二是所需的工作氣壓較高,這兩者綜合效果是氣體分子對(duì)薄膜產(chǎn)生的污染的可...
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