互連、接觸、栓塞
圖案發(fā)生器方法、X射線制版、電子束掃描法
2單匝線圈和圓形、方形或其他螺旋形多匝線圈
布線變復(fù)雜、信號線與地線間的寄生電容增加
GaAsSi
離子注入損傷,是指獲得很大動能的離子直接進入半導(dǎo)體中造成的一些晶格缺陷。