單項(xiàng)選擇題

通過(guò)分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來(lái)判斷是否達(dá)到終點(diǎn)的終點(diǎn)檢測(cè)方法是（）

A.發(fā)射光譜法
B.干涉測(cè)量法
C.質(zhì)譜分析法
D.橢圓偏振發(fā)

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