A.1級,標距相對誤差±1.0%,分辨力1.0μm-1,系統(tǒng)相對誤差±1.0%B.1級,標距相對誤差±2.0%,分辨力1.0μm-1,系統(tǒng)相對誤差±1.0%C.2級,標距相對誤差±2.0%,分辨力2.0μm-1,系統(tǒng)相對誤差±2.0%D.2級,標距相對誤差±1.0%,分辨力1.0μm-1,系統(tǒng)相對誤差±1.0%
A.1級,標距相對誤差±1.0%B.1級,標距相對誤差±2.0%C.2級,標距相對誤差±2.0%D.2級,標距相對誤差±1.0%