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激光準直儀按工作原理可分為:()。
答案:
振幅測量法、干涉測量法、偏振測量法
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直線度誤差是指()。
答案:
被測實際輪廓線相對于理想直線的變動量
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反射衍射測量法利用()來進行衍射測量的。特點:()、入射光可以以一定角度入射,布置方便。
答案:
試件棱緣和反射鏡構(gòu)成的狹縫;靈敏度提高一倍
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