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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是Rc? Rc代表什么意義？
答案：
接觸窗電阻，具體指金屬和半導(dǎo)體（contact）或金屬和金屬(via)，在相接觸時(shí)在節(jié)處所形成的電阻，一般要求此電阻越小...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】在量測(cè)Contact /Via（是指metal與metal之間的連接）的接觸窗開(kāi)的好不好時(shí), 我們是利用什么電性參數(shù)來(lái)得知的?
答案：
通過(guò)Contact 或Via的 Rc值，Rc值越高，代表接觸窗的電阻越大, 一般來(lái)說(shuō)我們希望Rc 是越小越好的。
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】Top metal和inter metal的厚度，線寬有何不同?
答案：
Top metal通常要比inter metal厚得多，0.18um工藝中inter me...
