問答題

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答案： 延層厚度應滿足 Tepi>Xjc+Xmc+TBL-up+Tepi-ox
集區(qū)擴散結深Xjc&ensp...
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②高溫時在硅中的擴散系數(shù)要小，以減小外延時隱埋層雜質上推到外延層的距...
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【簡答題】如何計算killing ratio?
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