A.堿溶液清洗B.有機(jī)溶液清洗C.HF結(jié)尾的清洗工藝D.去離子水沖洗
A.光刻膠B.Si襯底C.刻蝕氣體中的碳和其它物質(zhì)組成的化合物D.刻蝕溶液
A.實(shí)現(xiàn)電激活B.修復(fù)損傷C.提高摻雜均勻性D.加大損傷