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問答題
【簡答題】列出沉積的5種主要技術(shù)。
答案：
化學(xué)氣相淀積（cvd）
電鍍
物理氣相淀積（pvd或?yàn)R射）
蒸發(fā)
旋涂方法
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問答題
【簡答題】列舉并描述薄膜生長的三個階段。
答案：
第一步是晶核形成：成束的穩(wěn)定小晶核形成，這一步發(fā)生在起初少量原子或分子反應(yīng)物結(jié)合起來，形成附著在硅片表面的分離的小膜層的...
