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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是快速熱處理，相比于系統(tǒng)爐其6大優(yōu)點(diǎn)是什么？
答案：
快速熱處理是在非常短的時(shí)間內(nèi)，將單個(gè)硅片加熱至400~1300攝氏度范圍內(nèi)的一種方法。
優(yōu)點(diǎn)：減小熱預(yù)算。硅中...
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答案：
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問(wèn)答題
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答案：
生長(zhǎng)速率隨著壓力增大而增大。高壓強(qiáng)迫使氧原子更快地穿越正在生長(zhǎng)的氧化層，這對(duì)線性和拋物線速率系數(shù)的增加很重要。這就允許降...
