填空題

為了避免短溝道效應,可采用按比例縮小法則,當MOSFET的溝道長度縮短一半時,其溝道寬度應(),柵氧化層厚度應(),源、漏區(qū)結深應(),襯底摻雜濃度應()。

答案: 增大;減??;增大;增大
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