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【簡答題】簡述Defect的來源?
答案:
① 素材本身:包括wafer,氣體,純水,化學藥品。
② 外在環(huán)境:包含潔凈室,傳送系統(tǒng)與...
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【簡答題】何謂Defect?
答案:
Wafer上存在的有形污染與不完美,包括
① Wafer上的物理性異物(如:微塵,工藝殘留物,不正常...
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【簡答題】YE工程師的主要工作內容?
答案:
① 負責生產過程中異常缺陷事故的追查分析及改善工作的調查與推動。
② 評估并建立各項缺陷監(jiān)...
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