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X射線熒光光譜內標法,即把一定量的內標元素加入到標準試料及分析試料中,以標準試料中分析元素與內標元素的X射線熒光強度比與分析元素含量繪制校準曲線。測定分析試料的分析元素與內標元素的X射線熒光強度比,從校準曲線求得分析元素含量。
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X射線熒光光譜法分析線的強度與分析面的磨紋方向有關,因此,在測量時采取轉動試樣的方法,以減少誤差。
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X射線熒光光譜分析康普頓散射線內標法不能校正基體的吸收效應,只能校正增強效應。
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