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【簡(jiǎn)答題】如何調(diào)整真空傳感器?
答案:
將其處于吸真空狀態(tài),調(diào)整真空度,檢測(cè)使其指示燈剛好處于不亮狀態(tài)(此時(shí)機(jī)械手上不吸盤(pán)片)。
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答案:
將SA處在傳出位置,把SA校正盤(pán)放在SApin上,松開(kāi)SApin使SA校正盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活,將SApin鎖緊,SA校正是轉(zhuǎn)動(dòng)仍...
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【簡(jiǎn)答題】當(dāng)濺鍍機(jī)報(bào)警陰極短路時(shí),操作員應(yīng)如何處理?
答案:
將濺鍍機(jī)泄真空,將靶材取出,清潔陰極更換大、小mask。
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