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激光干涉儀光路系統(tǒng)主要包括:()。常用的光源為()激光器:(激光的功率和頻率穩(wěn)定性高、連續(xù)方式運轉(zhuǎn)、在可見光和紅外光區(qū)域有譜線)。
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光源、分束器和反射器;He-Ne
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