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【簡答題】半導(dǎo)體芯片制造工藝對氣體有什么要求?
答案:
半導(dǎo)體芯片制造工藝中經(jīng)常使用氧、氬、氫、氮等氣體,由于這些氣體的微粒雜質(zhì)和水汽對半導(dǎo)體芯片的性能、質(zhì)量、成品率有極大的影...
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答案:
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答案:
因人員走動(dòng)會(huì)產(chǎn)生大量微粒,即使靜坐也能有很多微粒產(chǎn)生。以下兩個(gè)表格列出了操作人員的衣著及行動(dòng)對環(huán)境的影響。
操...
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