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【簡(jiǎn)答題】化學(xué)氣相淀積薄膜的生長(zhǎng)過(guò)程是怎樣的?
答案:
(1)參加反應(yīng)的氣體混合物被輸運(yùn)到沉積區(qū);
(2)反應(yīng)物由主氣流擴(kuò)散到襯底表面;
(3)反應(yīng)物分鐘吸...
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【簡(jiǎn)答題】具體描述CMOS集成電路的工藝流程是怎樣的?
答案:
襯底;P阱的制作;場(chǎng)氧氧化、確定有源區(qū);生長(zhǎng)多晶硅柵;形成PMOS的源、漏區(qū);形成NMOS的源、漏區(qū);生長(zhǎng)PSG;制作電...
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【簡(jiǎn)答題】二氧化硅膜在集成電路中有哪些用途?
答案:
掩蔽雜質(zhì)、作為柵氧化層、表面鈍化和保護(hù)、介質(zhì)隔離、絕緣介質(zhì)等作用
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