A.臺(tái)板B.拋光液C.拋光墊D.夾持設(shè)備
A.固結(jié)磨料CMP技術(shù)B.無磨粒CMP技術(shù)C.無應(yīng)力拋光技術(shù)D.電化學(xué)機(jī)械平坦化技術(shù)
A.上下偏移B.X或Y方向的平移C.轉(zhuǎn)動(dòng)D.套準(zhǔn)誤差