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問答題
【簡答題】什么是恒定表面源擴散？其擴散形成的結(jié)深主要受哪些因素的影響？其中哪一個影響最主要？為什么？
答案：
如果在整個擴散過程中，硅片表面的雜質(zhì)濃度始終不變，這種類型的擴散稱為恒定表面源擴散。結(jié)深只與擴散時間t和擴散系數(shù)D有關(guān)，...
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問答題
【簡答題】解釋擴散系數(shù)及其物理含義，并說明影響擴散系數(shù)的主要因素是什么，及如何影響？
答案：
雜質(zhì)的擴散流密度與雜質(zhì)的濃度梯度成正比，將二者之間的比例系數(shù)定義為雜質(zhì)在基體材料中的擴散系數(shù)，其單位為cm2<...
問答題
【簡答題】說明雜質(zhì)在晶圓中的擴散機制及主要特點，并各舉一例。
答案：
間隙式雜質(zhì)從一個間隙到另一個間隙的運動是通過原子間的縫隙進行的，這種依靠間隙方式而逐步跳躍前進的擴散稱為間隙式擴散（In...
