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【簡答題】什么是表面鈍化?它的主要作用是什么?當前CMOS工藝中最典型的表面鈍化層采用何種材料?
答案:
表面鈍化作用:熱生長的SiO
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的一個化學特性是:通過束縛硅的懸掛鍵來降低它的表面態(tài)密度,這種效果稱...
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問答題
【簡答題】試說明氧化層在硅工藝中的四種主要用途及主要原因,并舉例說明各種用途的主要目的。
答案:
摻雜阻擋層;器件保護層;表面鈍化層;電學隔離層;器件介質層。
選擇擴散的掩蔽層:選擇擴散從而實現(xiàn)在特定的區(qū)域里...
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【簡答題】列出氧化硅的五種主要物理參數(shù),并說明實際中如何測試氧化層厚度。
答案:
密度,折射率,電阻率,介電強度,(相對)介電常數(shù)。
實際中可用折射率,介質強度和介電常數(shù)來測量。
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