問答題

【簡答題】如何解決MOS器件的場區(qū)寄生MOSFET效應?

答案: 在第二次光刻生成有源區(qū)時,進行場氧生長前進行場區(qū)離子注入,提高寄生MOSFET的閾值電壓,使其不易開啟;增加場氧生長厚度...
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【簡答題】消除“Latch-up”效應的方法?

答案: 版圖設計時:為減小寄生電阻Rs和Rw,版圖設計時采用雙阱工藝、多增加電源和地接觸孔數(shù)目,加粗電源線和地線,對接觸進行合理...
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【簡答題】什么是MOS晶體管的閂鎖效應,其對晶體管有什么影響?

答案: 在單阱工藝的MOS器件中(P阱為例),由于NMOS管源與襯底組成PN結,而PMOS管的源與襯底也構成一個PN結,兩個PN...
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