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【簡答題】簡述電子束加工特點(diǎn)與應(yīng)用
答案:
1、聚焦直徑小,焦點(diǎn)直徑甚至能聚焦到0.1um??蓪?shí)現(xiàn)精密微細(xì)的加工。
2、非接觸式加工。工件不受機(jī)械力作用,...
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