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名詞解釋
有限表面源擴(kuò)散
答案：
如果擴(kuò)散之前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì)，在整個(gè)擴(kuò)散過程中這層雜志作為擴(kuò)散的雜質(zhì)源，不再有新源補(bǔ)充，這種擴(kuò)散方式稱為有限表面...
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名詞解釋
分凝系數(shù)
答案：
對(duì)于固相-液相的界面，由于雜質(zhì)在不同相中的溶解度不一樣，所以雜質(zhì)在界面兩邊材料中分布的濃度是不同的，這就是所謂雜質(zhì)的分凝...
