問答題

【簡答題】描述等離子體刻蝕和干法去膠的原理

答案：

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答案： ①把所需圖形在晶圓表面上定位或?qū)?br />②通過曝光燈或其他輻射源將圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠涂層上
對準原則：
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