填空題

ARL-MA及ARL4460光譜儀采用()真空系統(tǒng),由初級泵()和次級泵()組成。其中()的轉速達()轉/分鐘,其完全停止需要5分鐘以上的時間。

答案: 無油型;薄膜泵;分子泵;分子泵;27000
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