填空題

ARL-MA及ARL4460光譜儀采用（）真空系統(tǒng)，由初級泵（）和次級泵（）組成。其中（）的轉速達（）轉/分鐘，其完全停止需要5分鐘以上的時間。

答案： 無油型；薄膜泵；分子泵；分子泵；27000
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