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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】超精密機(jī)床的進(jìn)給系統(tǒng)由哪幾個(gè)功能單元組成？
答案：
超精密機(jī)床的進(jìn)給系統(tǒng)由驅(qū)動(dòng)電機(jī)、柔性連軸節(jié)、滾珠絲杠螺母機(jī)構(gòu)、滾動(dòng)導(dǎo)軌，刀架組成。
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【簡(jiǎn)答題】納米級(jí)表面物理力學(xué)性能檢測(cè)的內(nèi)容是什么？
答案：
納米級(jí)測(cè)量技術(shù)包括：納米級(jí)精度的尺寸和位移的測(cè)量，納米級(jí)表面形貌的測(cè)量。
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】噴油嘴、微型軸承、儀表齒輪、手表整體機(jī)芯、印刷電路板、集成電路微電子器件等的清洗，常采用什么方法可獲得好的效果？
答案：
超聲波清洗（在清洗溶液中引入超聲波可使精微零件中的細(xì)小孔、窄縫、夾縫中的臟物加速溶解、擴(kuò)散，清洗干凈）。
