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填空題
MOS場效應(yīng)晶體管的開啟電壓指的是：（）。所以，NMOS管的開啟電壓為（），PMOS管的開啟電壓為（）。
答案：
MOS管柵下半導(dǎo)體表面開始強反型時的柵極電壓；正；負(fù)
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填空題
光刻工藝的分辨率決定于：（）和曝光、顯影、刻蝕條件的正確控制。正膠的分辨率（）于負(fù)膠的分辨率；光刻膠越薄，分辨率越（）。
答案：
光刻機(jī)的分辨率、光刻膠的種類、光刻膠的厚度、光刻膠的對比度；高；高
填空題
前烘的目的是（）使膠膜中的溶劑只有初始濃度的（）。從而，使膠的（）性能穩(wěn)定。對正膠，前烘過度會使非曝光區(qū)的膠（）；前烘不足，會使膠的感光度（），對比度（），線條邊緣不陡直。所以，必須嚴(yán)格控制前烘的（）和（）。
答案：
去除膠膜中的大部分溶劑；5%；曝光；部分溶解；提高；降低；時間；溫度
