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判斷題

光刻是集成電路制造工藝發(fā)展的驅(qū)動力。

答案：正確

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投影掩膜版上的圖形是由金屬鉭所形成的。

答案：錯誤

有光刻膠覆蓋硅片的三個生產(chǎn)區(qū)域分別為光刻區(qū)、刻蝕區(qū)和擴(kuò)散區(qū)。

答案：正確

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