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芯片上的物理尺寸特征被稱為關(guān)鍵尺寸,即CD。
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對(duì)正性光刻來說,剩余不可溶解的光刻膠是掩膜版圖案的準(zhǔn)確復(fù)制。
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曝光后烘焙,簡(jiǎn)稱后烘,其對(duì)傳統(tǒng)I線光刻膠是必需的。
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