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電機(jī)電流終點(diǎn)檢測不適合用作層間介質(zhì)的化學(xué)機(jī)械平坦化。
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判斷題
反刻是一種傳統(tǒng)的平坦化技術(shù),它能夠?qū)崿F(xiàn)全局平坦化。
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平滑是一種平坦化類型,它只能使臺(tái)階角度圓滑和側(cè)壁傾斜,但高度沒有顯著變化。
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