問答題

【簡答題】膜厚的量測方法有哪些？

答案： 大致上可分為原位量測、離位量測兩類
原位星測系指鍍膜進行中量測，普遍使用在物理氣相沉積，如微天平、光學、電阻量...
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問答題

【簡答題】薄膜要有良好的附著力，必須具有哪些基本特性？
答案： （1）接口層原子之間須有強的化學鍵結，最好是有化合物的形成或化學吸附，理吸附是不夠的
（2）低的殘存應力，這可...
問答題

【簡答題】沉積的薄膜有內應力的存在，其來源為何？
答案：

（1）薄膜和基材之間的晶格失配
（2）薄膜和基材之間的熱膨脹系數(shù)差異
（3）晶界之間的互擠
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