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早期,研究離子注入技術是用()來進行的。
A.重離子加速器
B.熱擴散爐
C.質(zhì)子分析儀
D.輕離子分析器
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()的氣體源中一般包含H
+
,C
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,B
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,Cl
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,O
+
等離子。
A.Cl
2
B.BCl
3
C.CO
2
D.H
2
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單項選擇題
離子源產(chǎn)生的離子在()的加速電場作用下得到加速。
A.分析器
B.掃描器
C.加速器
D.偏轉(zhuǎn)器
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