多項選擇題

二氧化硅膜的質(zhì)量要求有（）。

A.薄膜表面無斑點
B.薄膜中的帶電離子含量符合要求
C.薄膜表面無針孔
D.薄膜的厚度達到規(guī)定指標(biāo)
E.薄膜厚度均勻，結(jié)構(gòu)致密

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