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問(wèn)答題
【論述題】簡(jiǎn)述雜質(zhì)在SiO2的存在形式及如何調(diào)節(jié)SiO2的物理性質(zhì)。
答案：
熱氧化層中可能存在各種雜質(zhì)，某些最常見(jiàn)的雜質(zhì)是與水有關(guān)的化合物，其結(jié)構(gòu)如圖所示。如果氧化層在生長(zhǎng)中有水存在，一種可能發(fā)生...
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問(wèn)答題
【論述題】
以P2O2為例說(shuō)明SiO2的掩蔽過(guò)程。
答案：
以P2O2雜質(zhì)源為例來(lái)說(shuō)明SiO2的掩蔽過(guò)程：當(dāng)P
問(wèn)答題
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答案：
結(jié)晶形SiO2——由Si-O四面體在空間規(guī)則排列構(gòu)成每個(gè)頂角的O原子與兩個(gè)...
