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【簡答題】在使用擴散泵應注意哪些事項?
答案:
1、冷卻水不足,必須關閉擴散泵,否則輕則會造成返油,重則會使擴散泵過熱造成擴散泵油燒焦。(機器若有自動保護裝置,會自動停...
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高的真空度、低基板溫度、快蒸
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本題是員工自由發(fā)揮題目,沒有明確答案,可以從以下三個方面考慮:
1、如何按照作業(yè)指導書進行操作?
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