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手動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí),關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱,等冷卻50分鐘后,需先關(guān)閉MV閥、再關(guān)羅茨泵和機(jī)械泵。
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手動(dòng)開(kāi)機(jī)時(shí),打開(kāi)擴(kuò)散泵(DP)加熱開(kāi)關(guān)前先需把MV閥打開(kāi),否則會(huì)影響擴(kuò)散泵抽速。
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關(guān)擴(kuò)散泵后等待30分鐘就可以關(guān)掉設(shè)備總電源。
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