多項(xiàng)選擇題

真空室內(nèi)部清掃不干凈，可能會導(dǎo)致以下哪些結(jié)果？（）

A、機(jī)器抽速慢
B、產(chǎn)品表面質(zhì)量差
C、機(jī)器效率降低
D、分光特性不重復(fù)

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