問答題

【簡答題】在制備氯化鈦的過程中,Tesla線圈和鈦管起什么作用?

答案:

線圈檢漏器,在電弧放電作用下,分子氫變?yōu)樵託?br /> 鈦管:避免三氯化鈦堆積,又能一直允許氫氣的再生。

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答案: 優(yōu)點:1.晶體生長或成膜的質(zhì)量好
2.沉積溫度低,便于控制
3.可使沉積襯底的表面積擴大,提高沉積效...
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答案: 真空泵類型:機械真空泵,蒸汽流泵,吸氣機泵,離子泵,低溫泵。
測量真空設(shè)備:麥?zhǔn)险婵找?guī),壓力機,熱偶真空規(guī),熱...
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