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問答題
【簡答題】簡述側(cè)墻工藝目的。
答案：
側(cè)墻用來環(huán)繞多晶硅柵側(cè)壁阻擋大劑量的S/D注入以免其接近溝道導(dǎo)致源漏穿通。
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答案：
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